特殊化學(xué)品公司朗盛研發(fā)出一種新型混床樹脂，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的超純水。與已有的Lewatit UltraPure 1296 MD混床樹脂相比，新型UltraPure 1296 MD PLUS混床樹脂的鐵、鋅和鈉等金屬含量更低。該產(chǎn)品作為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的終端拋光過濾器，其早期安裝結(jié)果已接近目前的分析檢測極限。
朗盛將在UltraPure Micro會議上向?qū)I(yè)觀眾展示其新型離子交換樹脂。該會議于2023年10月10日至12日在美國得克薩斯州奧斯汀舉行。
朗盛液體凈化技術(shù)業(yè)務(wù)部技術(shù)營銷經(jīng)理Hans-Juergen Wedemeyer表示："在德國生產(chǎn)的Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS離子交換樹脂對國際上蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)而言，是實(shí)現(xiàn)低成本、可持續(xù)和無故障生產(chǎn)的重要組成部分。
Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS，用于最艱巨的任務(wù)
半導(dǎo)體和顯示器的生產(chǎn)需要進(jìn)行復(fù)雜的水處理，以確保所用的水達(dá)到要求的純度。因此，最新一代的晶片和微芯片對所使用的離子交換樹脂系統(tǒng)的質(zhì)量要求也相應(yīng)更高。此外，新的分析系統(tǒng)能夠分析低 ppt（萬億分之一）范圍內(nèi)的離子。對于某些類型的離子，它們可以達(dá)到ppq（千萬億分之一）范圍。要達(dá)到現(xiàn)代工業(yè)所需的半導(dǎo)體性能，可能需要多達(dá) 200 個(gè)處理步驟。為此所需的超純水是通過復(fù)雜的多級工藝提供的。操作過程中最重要的步驟包括使用標(biāo)準(zhǔn)離子交換樹脂進(jìn)行常規(guī)一級脫鹽、反滲透、脫氣、超濾和過氧化氫去除，而最后一個(gè)階段則是使用超純混床樹脂進(jìn)行終端拋光。新型 Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS 離子交換樹脂就是為這最后一步專門研發(fā)的，它對整個(gè)工藝的成功至關(guān)重要。
這樣處理后的超純水可用于微芯片生產(chǎn)中的蝕刻和清洗過程。Wedemeyer 說：“陰離子和陽離子交換樹脂的總?cè)萘看?，再生能力?qiáng)，因此在去除硼、二氧化硅以及金屬離子方面也具有出色的運(yùn)行能力?！?/p>
Wedemeyer 補(bǔ)充說：“單分散成分的微珠尺寸設(shè)計(jì)可避免陰陽離子交換樹脂意外分離。由于 Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS離子交換樹脂采用了特殊的生產(chǎn)工藝，微粒和 TOC 的釋放量極低?！?/p>
滬公網(wǎng)安備 31011502005575號
